그래핀 분야

다양한 산업의 변화와 변화하는 인류의 생활 속에 ㈜참그래핀이 함께 하겠습니다.

GRAPHENE Equipment

참그래핀이 자체 기술로 개발하여 지속적으로 업그레이드 하고 있는 롤투롤 그래핀 연속생산 장비 기술은,
대면적 고속 생산이 가능한 독보적인 기술로써 분당 2m의 생산 속도와 6um의 Cu foil의 대응이 가능하여 초저가의 그래핀을 대량 생산할 수 있는 뛰어난 기술입니다.
또한, 지속적인 기술 개발로 차세대 장비 개발을 꾸준히 진행하여 대면적 비즈니스에 대응할 수 있도록 준비하고 있으며,
한국을 비롯한 미국, 중국에 특허 출원 / 등록으로 지식 재산권을 확보하였습니다.
당사의 그래핀 필름 비즈니스에 발맞추어 판매 가능한 장비는 별도 상담 후 제공 가능합니다.

GRAPHENE Equipment

본문

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Thermal RTR CVD SYSTEM : CHG-60
ITEM SPECIFICATION
System composition Process chamber
Roll Width Max 60mm
Roll length Max 10m
Temp Uniformity ≤±1%(@300x60㎟)
Ultimate Pressure 1mTorr
Process Temp RT~1100°C
Ramping Rate 2.5°C/min

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Thermal RTR CVD SYSTEM : CHG-150
ITEM SPECIFICATION
System composition Process chamber,LL,ULL
Roll Width Max 150mm
Roll length Max 150m
Temp Uniformity ≤±1%(@300x60㎟)
Ultimate Pressure 1mTorr
Process Temp RT~1100°C
Ramping Rate 100°C/min

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Thermal RTR CVD SYSTEM : CHG-200
ITEM SPECIFICATION
System composition Process chamber,LL,ULL
Roll Width Max 200mm
Roll length Max 200m
Temp Uniformity ≤±1%(@300x60㎟)
Ultimate Pressure 1mTorr
Process Temp RT~1100°C
Ramping Rate 100°C/min